2 | 새로운 플라즈마 임피던스 측정법: 이중 주파수 방법 / Novel method of measuring S11: Two freq…

기존에 사용됐던 싱글 주파수를 이용한 S11 측정을 본 연구실이 이중 주파수 방법 (Two frequency method)을 사용해 플라즈마의 불확실했던 임피던스 값을 구하는 방법을 고안해냈다.

The laboratory has introduced a novel method of measuring S11 called ‘two frequency method’. The conventional method of S11 measurement leaves the impedance value in uncertainty whereas ‘two frequency method’ accurately determines the plasma impedance based on an equivalent circuit model.